可集成窄线宽激光器数据集

本数据集汇集了用于可集成窄线宽激光器的结构设计、工艺制备、表征与测试分析过程中产生的相关数据。主要包括InP基可集成窄线宽激光器在外延过程中的外延设计、表征，制备光程中的微观形貌和侧壁表征、以及测试过程中的LIV、光谱、相对强度噪声、线宽等数据。数据集包含多类数据，其中光致发光（PL）测试数据的波长分辨率达到0.06nm，扫描电子显微镜（SEM）测试数据的尺度是在微米量级。测试过程所使用的仪器中，光谱分析仪的光谱范围为1000~1800nm，最大分辨率为0.02nm，相对强度噪声最低可测至-170dBc/Hz，线宽可测至Hz量级。