高速率面发射激光器制备工艺数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69cd415df17560281a74ad03&type=1
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资源简介：
本数据集依托国家重点研发计划“400GE短距离多模光互连芯片与模块研究”项目课题一“高速率面发射激光器（VCSEL）芯片设计和制备工艺技术研究”，描述了本项目所研制的可量产化的VCSEL激光器芯片工艺流程以及单项关键工艺开发数据，为800GbE至1TbE代际的数据中心光互连技术发展所需的高速VCSEL核心芯片的研究提供数据支撑。本数据集约379.61MB.
提供机构：
浙江老鹰半导体技术有限公司
