钻石传感器小型化关键技术最终技术报告

单分子科学、磁存储等重大前沿方向与水下异常探测等国家安全领域对于变革性磁探测技
术需求日益迫切，因此开展基于钻石传感器的高精度磁传感技术研究。钻石传感器主要由绿色
光源、金刚石、微波源、微波天线以及光电探测器等构成。理论上其启动时间极短，不需加热，
易于小型化，是磁传感器芯片化发展的重要方向。按照课题任务开展了研究工作， 本报告采用
激光光源、微波源、微波天线、金刚石、光滤波器、光电探测器一体化集成的研究方法，主要
研究内容：（1）小型化激光光源系统研究；（2）微波系统集成研究；（3）三维封装技术研究；
（4）系统测试研究。开发了探头的无磁封装及热管理技术，螺旋电感与微波芯片集成技术，高
精度三维封装技术。最终满足项目技术指标，激光器输出功率 837 mW 远大于 500 mW，探头封
装体积 70.5 cm3 小于要求的 100 cm3。各个指标远超项目要求结果，表明我们已掌握钻石传感器
小型化核心技术，为后面继续深入钻石传感器研究打下了坚实的基础。