薄膜铌酸锂波导传输损耗原始数据

薄膜铌酸锂器件是光电子集成关键组件，面向光通信等应用需求。其加工基于半导体微纳工艺，涵盖薄膜制备、光刻、刻蚀等流程。波导传输损耗受薄膜质量、光刻精度、刻蚀均匀性等因素影响。当下，光电子产业发展促使器件加工体量增大。减低薄膜铌酸锂光波导传输损耗对降本、增强竞争力及推动光电子技术进步意义重大，能为光通信等提供可靠组件，也利于拓展应用。该数据集主要记录了薄膜铌酸锂波导传输损耗这一指标的原始数据，其中包含采集的原始csv数据，opju分析文件与tif分析结果文件，数据量为21.7MB。