集成化无线无源传感器研制与测试数据集

该数据集面向火箭用无线无源集成传感器结构设计、传感器关键单项工艺及其工艺效果、传感器芯片及其整机性能研究。数据来源：在航天长征火箭技术有限公司对集成化无线无源传感器设计仿真产生的数据集，用于指导多参数声表面波传感器敏感机理分析、电极模型建立、器件结构的优化设计；在航天长征火箭技术有限公司对集成化无线无源传感器工艺研究产生的数据集，用于记录、指导传感器敏感芯片金属叉指电极薄膜沉积及图形化制备、晶圆键合、敏感结构体加工等关键单项工艺，完成真空气密键合与电学互联等工艺兼容串联；在航天长征火箭技术有限公司产生的传感器测试数据集，通过对所设计的敏感芯片及整机进行性能测试，对结构设计、单项加工工艺及总体工艺串联效果进行评估验证；产生于北京长城计量测试技术研究所的第三方检测报告数据集，通过对集成化无线无源传感器的性能进行第三方权威测试机构认证，证明所研制的传感器的指标完成情况。主要设备包括：匀胶显影设备、接触式光刻机、磁控溅射镀膜机、蒸发镀膜机。数据集主要内容为：针对温度、压力、加速度多参数传感器研制需求，建立完整的多参数声表面波传感器响应机理模型，实现温度、压力、加速度参数的解耦及高Q值SAW器件的优化设计，保证传感器多参数敏感单元的高性能及其传感器系统的全温区测量精度；通过对传感器研制所需的关键单项工艺优化验证，实现关键工艺突破和工艺兼容性控制，保证了传感器研制与设计的一致性，实现了高 Q 值集成化敏感元件制备。结合无线无源传感器现有测试标准及传统有线式温度、压力、加速度传感器的国家标准用与相关调研结果，制定了用于本项目无线无源传感器的测试大纲，并交由第三方进行指标性能测试。数据量10.98MB。