声表面波芯片性能检测数据集

本数据资源主要面向微纳结构声表面波聚焦芯片的设计、制备与性能检测。利用矢量网络分析仪对声表面波器件的插入损耗S11参数进行测量，以确定其工作频率；采用激光多普勒测振方法对声表面波聚焦声场进行表征，从而获得声表面波聚焦焦斑的横向尺寸检测数据。数据总量为188MB。