PDK器件模型测试数据

本数据集包含了C波段氮化硅基光子器件PDK模型、C波段硅基光子器件PDK模型、O波段氮化硅基光子器件PDK模型以及O波段硅基光子器件PDK模型的仿真结果。系统测试了包括直条波导、MMI 1×2分束器、波导交叉器、定向耦合器、端面耦合器、光栅耦合器、Y分束器及硅-氮化硅层间耦合器在内的八类典型光子器件的透射性能。数据采集采用MOS（模型仿真输出）与LUM（实测透射率）对比方法，通过波长扫描（步长0.001 μm）获取高精度透射谱数据，并计算相对误差。数据集共包含32个子表，涵盖波长、MOS T、LUM T、误差、实测dB值、计算时间等多维度信息。数据经过公式校对与重复性验证，适用于光子器件模型验证、PDK精度评估、光路仿真优化等领域。