石墨烯气压传感器制备和测试数据集

本数据集系统记录了基于石墨烯异质结高性能气压传感器的制备工艺与全量程性能测试数据 。详细阐述了压力敏感器件的定压封装流程，包括硅铝线键合技术、平行封焊工艺等。数据采集涵盖了静态压力响应、分辨力测试及重复性评估。此外，数据集纳入了在 -40 ℃ 至 80 ℃ 范围内的温度特性记录。利用激波管动态压力装置测得传感器的极限响应时间。