Energy-Landscape Wafer Variation Benchmark (ELWVB)
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Wafer-Level Defectivity Simulation: 40,000-Site Dataset for SPC and ML Metrology
晶圆级缺陷率仿真：面向统计过程控制（Statistical Process Control，SPC）与机器学习计量的40000位点数据集
创建时间：
2025-12-02
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