碳化硅光机构件加工机理数据集

本数据集主要包括碳化硅光机构件在加工机理研究过程中涉及不同工艺条件下样件的表面形貌与表面粗糙度精密测试，旨在定量表征加工工艺对表面质量的影响规律。主要包括样件的三维表面形貌、二维轮廓曲线、算术平均粗糙度等关键数据，并测试和采集相关测试数据体系，对应于表面粗糙度支撑实验数据。