锑化物超宽光谱多波段光电探测原型器件工艺及性能数据集

本数据集主要面向锑化物超宽光谱多波段光电探测器研究，提供了实验制备原型器件的相关工艺及性能表征，收集了2020-2024年间通过研究得到的锑化物光电探测器的工艺技术和性能数据。本数据集收集了探测器光刻版图文件用于描述探测器结构、探测器光谱响应图像用于表征器件光学响应波长范围、量子效率和探测率数据用于表征器件的光学响应性能。这些数据及图像验证了本课题制备的锑化物超晶格光电探测器件的超宽光谱光电探测性能，为发展锑化物超晶格超宽光谱多波段红外探测器提供支持，具有重要的参考价值。