微光学陀螺仪数据集

2016YFA0200503-003--微光学陀螺仪数据集主要基于面向多光源协同跨尺度光刻技术与半导体工艺相结合，实现纳米尺度与微米尺度结构集成器件图层的原位一次性快速曝光制备谐振型微光学陀螺仪等微纳器件的研究需求建设，基于半导体基地制备的器件结构产生，主要记录了微光学陀螺仪数据集基本内容包括有飞秒激光数字微镜面投影曝光制备波导微环谐振腔的光刻胶和刻蚀波导形貌扫描电子显微镜观测结果以及波导微环谐振腔的品质因数测试结果。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

微光学陀螺仪数据集围绕多光源协同跨尺度光刻与半导体工艺制备谐振型微光学陀螺仪的需求建设，记录了飞秒激光数字微镜面投影曝光制得的波导微环谐振腔的扫描电子显微镜形貌观测数据及其品质因数测试结果。该数据集为微纳器件制备工艺和性能评估提供了基础实验数据支撑。