微光学陀螺仪数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
2016YFA0200503-003--微光学陀螺仪数据集主要基于面向多光源协同跨尺度光刻技术与半导体工艺相结合，实现纳米尺度与微米尺度结构集成器件图层的原位一次性快速曝光制备谐振型微光学陀螺仪等微纳器件的研究需求建设，基于半导体基地制备的器件结构产生，主要记录了微光学陀螺仪数据集基本内容包括有飞秒激光数字微镜面投影曝光制备波导微环谐振腔的光刻胶和刻蚀波导形貌扫描电子显微镜观测结果以及波导微环谐振腔的品质因数测试结果。
提供机构：
中国科学院半导体研究所
