微电子所TaOx基电子型选通器件数据集

通过控制施加在Ta电极上的电压，Ta/TaOx/Ru器件可以分别作为高度均匀、非线性的选通器件和稳定的阻变器件。研究了选通器件和阻变器件的机理。该Ta/TaOx器件为大规模阻变阵列提供了潜在的解决方案。该数据集记录了器件研制的工艺、电学等数据。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集记录了Ta/TaOx/Ru器件的工艺制备与电学测试数据。通过调控电压，器件可实现高度均匀的非线性选通功能或稳定的阻变功能，其机理研究为大规模阻变阵列提供了潜在解决方案。数据涵盖工艺流程、电学特性等关键信息，支持1S1R结构应用。