离子束微纳加工参数与流程数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-11-08 收录
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资源简介：
本数据集开发了国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）聚焦离子束矩阵微纳加工的流程和参数，加工偏差控制在±5%以内，展示了离子束5*5阵列图形刻蚀和沉积实例。
提供机构：
上海精测半导体技术有限公司
