离子束微纳加工参数与流程数据

本数据集开发了国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）聚焦离子束矩阵微纳加工的流程和参数，加工偏差控制在±5%以内，展示了离子束5*5阵列图形刻蚀和沉积实例。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集针对国产化双束显微镜，提供了聚焦离子束矩阵微纳加工的完整流程与参数，加工偏差严格控制在±5%以内。数据包含5×5阵列的图形刻蚀与沉积实例，以多种文件格式呈现，适用于微纳加工领域的参数优化与工艺验证。