高精度高表面完整性晶体薄片加工工艺验证数据集

本数据集收集了2022年11月至2025年10月期间研究高精度高表面完整性晶体薄片加工工艺的相关数据。围绕增益器件的应用需求，旨在实现高面型精度高表面完整性激光晶体薄超精密加工，建立晶体薄片超精密加工工艺。数据集涵盖了超精密加工工艺参数对激光晶体薄片表面质量与面型精度的影响相关数据。数据为实现激光晶体薄片高精度近无损伤加工提供了数据支持，为新一代激光增益器件的制备提供关键部件与理论技术支撑。