多层波导截面测试数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=67b73fe3195d2617ee11374d&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
为了实现更大规模的光电计算网络，需要充分利用波导布线空间，提高集成密度；通过在标准SOI上集成一层氮化硅波导，可以进一步提高整体的集成度，有助于更大规模、更高密度的光电计算网络集成。为了达成高集成度要求，开发了硅上氮化硅130N工艺，在联合微电子中心的8英寸线上完成芯片制造，并在联合微电子中心封装测试实验室和失效分析实验室完成测试，测试全程由第三方检测机构到场监督
提供机构：
联合微电子中心有限责任公司
