外延加热功率效率数据

【适用条件】本数据集适用于配备全自动外延工艺设备、具备加热功率与生长温度记录的半导体外延生产与使用企业。 【适用范围】适用于加热效率评价、热场控制优化、设备能耗对标等领域。覆盖半导体外延片生产企业、半导体材料制造企业、加热系统供应商等机构类型。 【适用对象】面向外延工艺工程师、设备工程师、能源管理人员、热场设计人员、行业研究人员。 【解决的核心问题】（1）加热效率缺乏统一度量：以温度与功率的比值刻画单位功率的温升效果，解决不同设备加热效率无法比较的问题；（2）功率负荷难以量化：以功率占最大值的比例反映设备负荷水平；（3）温度达标监测不足：为外延工艺温度达标情况提供量化指标。 【数据流通与应用价值】本数据集以温度功率比、功率负荷率与加热效率指数刻画外延炉加热效率，口径统一、通用性强。可应用于：（1）能耗对标：为外延企业横向对比设备加热能耗提供数据；（2）热场优化：为加热系统供应商评估功率配置提供依据；（3）行业研究：为研究机构分析外延炉加热效率特征提供基础数据；（4）设备评价：为设备选型提供加热效率指标。数据集遵循数据安全相关规范，不涉及个人信息。（一）加工前的数据说明 原始数据来源于中电晶华企业生产数据报表管理系统，由全自动外延工艺设备在运行过程中自动采集，在业务经营过程中依法采集。原始数据包含记录时间、加热功率Power、生长温度Temperature_Real_Value、温度设定值Temperature_Set_Value等字段，加热功率为设备加热系统记录的实时功率，生长温度为实测炉内温度，温度设定值为目标温度。加工前统一数值格式并剔除缺失记录。 （二）处理规则 1. 温度功率比计算：按公式"温度功率比=Temperature_Real_Value/Power"逐行计算，Power为0时温度功率比记为0，得到温度功率比字段。 2. 极值统计：统计全体记录中加热功率Power的最大值，得到功率最大值字段。 3. 功率负荷率计算：按公式"功率负荷率=Power/功率最大值×100"逐行计算，得到功率负荷率字段。 4. 温度达标率计算：按公式"温度达标率=（1-|Temperature_Real_Value-Temperature_Set_Value|/Temperature_Set_Value）×100"逐行计算，得到温度达标率字段。 5. 加热效率指数计算：按公式"加热效率指数=（温度达标率×0.6+功率负荷率×0.4）/100"逐行计算，权重依据温度达标对加热效率的直接代表性设定：温度取0.6、功率负荷取0.4，得到加热效率指数字段。 6. 等级判定：加热效率指数≥0.95为高效，0.90≤加热效率指数<0.95为良好，加热效率指数<0.90为一般，得到加热效率等级字段。 以上计算结果均保留2位小数。 （三）数据内容描述 经加工后形成的数据集包含10个字段：记录时间、加热功率Power、生长温度Temperature_Real_Value、温度设定值Temperature_Set_Value、功率最大值、温度功率比、功率负荷率、温度达标率、加热效率指数、加热效率等级等10个字段，以温度功率比与加热效率指数刻画外延炉加热效率，供能耗对标与热场优化使用。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

“外延加热功率效率数据”是由杭州电子科技大学平湖数字技术创新研究院有限公司和中电晶华（天津）半导体材料有限公司申请登记的数据知识产权，数据源自全自动外延工艺设备自动采集，以xlsx格式提供42934条记录并按需更新。经加工后，该数据集包含记录时间、加热功率、生长温度、温度设定值、功率最大值、温度功率比、功率负荷率、温度达标率、加热效率指数和加热效率等级等10个字段，以温度功率比和加热效率指数刻画外延炉加热效率。其适用于半导体外延生产与使用企业，可用于加热效率评价、热场控制优化、设备能耗对标等场景，且遵循数据安全规范、不涉及个人信息。