器件结构参数和工艺条件对电荷平衡效果的影响规律仿真及测试数据

本数据集来源于国家重点研发计划“新型显示与战略性电子材料”重点专项课题，项目面向轨道交通、智能电网等高压高功率领域对高效、紧凑型SiC功率器件的迫切需求，旨在通过揭示电荷平衡的核心规律，突破传统SiC器件的性能瓶颈。数据集主要面向半导体功率器件物理研究、新型器件结构设计与优化、以及电力电子应用开发等需求，基于半导体工艺与器件协同仿真TCAD软件以及Keysight B1505A功率器件分析仪等测试系统产生。数据内容系统记录了不同结构参数（如P/N柱宽度、Wn尺寸）与工艺条件（如离子注入剂量）​ 下，SiC超级结器件的阻断电压、击穿特性、纵向/横向电场分布、Al离子掺杂浓度等核心电学与物理参量的仿真及测试结果。数据集总容量约70MB，以结构化的Excel数据文件、分析图表及支撑文档等形式组织，为深入理解SiC超级结的电荷平衡机制、优化器件设计与工艺提供了翔实、可靠的数据基础，具有重要的科学研究与工程参考价值。