高效热电薄膜器件一体化集成与服役性能优化数据集

该数据集对应课题四研究内容（5），突破了热电薄膜器件一体化集成的核心技术难点，并对器件性能进行采集，形成系统性研究成果。实验及表征结果由多种先进设备采集，包括SEM sigma300扫描电子显微镜、Keithley2400源表、Keithley6221源表、Keithley2182A源表、自制微型热电器件性能测试装置、Pico-YL纳秒光纤激光器、CKG-60型磁控溅射薄膜制备系统等。记录观测值包括热电薄膜器件的制备工艺流程，不同温差下的伏安特性曲线以及输出功率，表面形貌及结构、第三方测试报告、改变激光加工参数得到的热电薄膜加工效果。数据总量为78.1MB，内容涵盖报告、图表合集、SCI论文以及专利授权文件。该数据集对热电薄膜器件的设计与集成进行系统深入的研究，形成成熟可靠的制备方案，并实现项目要求的服役性能，为热电薄膜器件的集成和测试提供关键技术支撑，为微型热电器件相关领域技术发展提供先进案例。