硅基片上天线性能仿真与测试数据集

本数据集包含对硅基片上天线的仿真建模以及性能测试数据。建立了硅基片上天线的多物理场仿真建模源文件，对硅基片上天线GSG结构进行了三维建模，设计了硅基片上天线加工版图；对加工器件的S参数（反射和透射）响应进行了测试，对天线的远场性能，包括方向性系数、增益等进行了表征，对硅基片上天线的金属膜厚度进行了测试。