宽带光电太赫兹探测器芯片数据集

包含宽带光电太赫兹探测器芯片的各项指标数据和研究过程数据，包括光电探测器芯片实验研究过程图表（探测器外延结构仿真设计图、工艺过程测试图、测试装置图、S21频率响应测试图、输出功率测试图等）、原始记录数据及验收报告。搭建宽带光电太赫兹探测器芯片测试平台。将双通道C波段可调谐激光器的两路输出激光通过光纤耦合器耦合，再经光纤放大器放大后送入待测芯片，直流偏压和太赫兹功率计经射频探针连接到探测器。调节可调谐激光器波长间隔，根据光电探测器的输出确定其探测频率和输出功率范围。通过频率响应曲线确定其探测频率达到274~298GHz、输出功率达到-14.09dBm。数据采用标准化仪器采集，汇总构成2020YFB1805701课题宽带光电太赫兹探测器芯片数据集。