异质结薄膜转移工艺和界面纯净化方法数据集

本数据集系统记录了二维材料异质结从生长衬底向目标器件衬底的无损转移工艺及界面纯净化处理方法 。数据集涵盖了2022年至2025年的研究成果，核心内容包括理论仿真预测与实验工艺参数两部分 。在理论层面，利用CASTEP软件构建了异质结-衬底超晶格模型，揭示了外加电场对比表面附着功的调控机理。在实验层面，数据集详尽记录了双电层诱导静电排斥转移、AFM热探针分步划刻及超临界CO₂流体清洗的具体参数 。