铪锆氧薄膜铁电性研究
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
本工作制备厘米级、无裂纹、自支撑的 Hf 0.5 Zr 0.5 O 2。报道了非常适合在微观和介观尺度上研究局部结晶相、取向和晶界的 (HZO) 纳米膜。平面晶体学图案的原子级成像表明，超过 80% 的晶粒是铁电正交晶相，这些晶粒的平均等效直径约为 12.1 nm，值范围为 4 至 50 nm。此外，铁电正交相在无底物的 HZO 膜中是稳定的，这表明来自衬底的应变不是维持极性相的原因。还证明了在柔性基板上制备的 HZO 电容器高度均匀、稳定和坚固。
提供机构：
国家基础学科公共科学数据中心
