单晶金刚石异质外延生长研究数据集

本数据集主要针对以最佳偏压形核窗口形核的异质衬底进行金刚石外延生长研究，数据集详细地记录了不同甲烷浓度、沉积温度以及不同生长阶段下金刚石生长形貌数据，同时研究了其生长质量、缺陷密度，揭示了异质外延生长单晶金刚石的生长机制，为大尺寸高质量外延生长单晶金刚石提供可靠的理论及数据支持，具有重要的学术和应用价值。