硅纳米线晶体管数据集

2016YFA0200503-002--硅纳米线晶体管数据集主要面向将基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工技术与半导体加工技术结合，制备硅纳米线晶体管的研究需求建设，基于半导体基底加工制备器件产生，主要记录了一个硅纳米线晶体管器件详细的制备流程和变温测试数据，包括飞秒激光数字微镜面投影与直写协同曝光的新型跨尺度微纳结构加工技术曝光、反应离子刻蚀、电感耦合等离子刻蚀、电子束曝光、紫外光刻、电学测试等详细工艺和测试结果。