钽涂层制备及性能研究数据

本数据集涉及的钽涂层采用自制的常压化学气相沉积设备，主要由沉积系统、真空系统和气体控 制系统组成。钽涂层制备的实验基本原理为：利用还原性气体将气化后的 TaCl5 粉末还原为金属钽，并在高温区沉积到钛合金上。