光电集成电路及器件参数综合测试仪工程化产业化核心性能测试数据

本数据集为光电集成电路及器件参数综合测试仪工程化产业化核心性能测试数据，主要包含可靠性测试数据和高速光电探测模块自动化调测装置测试数据。其中可靠性测试数据为可靠性测试过程中5台样机激光器输出变化数据，高速光电探测模块自动化调测装置测试数据为高速光电探测器在测试过程中测测试曲线和结果数据。