三维高速高精度扫描振镜控制原理和关键技术数据集

为达到三维扫描振镜的高速、高精度运动控制，开展了扫描控制及运动合成控制技术的研究。本数据集记录了扫描振镜在8m/s合成速度的情况下进行2*2mm字符打标的图像数据，采用工业相机拍照得到。展示了新研发扫描振镜能够实现高速打标控制的关键技术指标能力。为实现三维扫描振镜在三维表面的立体加工，开展了激光动态聚焦技术的基础和应用研究。本数据集记录了所开发三维扫描振镜对三维工件表面进行加工实验验证的图像数据，采用工业相机拍照得到，展示了所研发三维扫描振镜在一定Z向深度变化范围内，能对立体表面进行加工的能力。为达到三维扫描振镜的高速、高精度运动控制，开展了扫描控制及运动合成控制技术的研究。本数据集记录了所研发扫描振镜在1%满幅阶跃指令的激励下，振镜电机转子的运动响应情况的记录数据。命令由NI-USB6431数据卡产生，响应数据由TDS2022C示波器记录得到。展示了新研发扫描振镜电机对高速指令的响应能力。