高速、低功耗相变材料数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
高速、低功耗相变材料数据集主要面向高速、低功耗相变材料，数据包含在12寸PVD机台制备的相变材料薄膜的均匀性、热稳定性、微观特性等，曝光、刻蚀等单项工艺开发的情况，实验芯片的性能测试数据。数据类型包括：.txt; .tif.; .raw; .jpg; .csv; .xls; .png; .dat文件，数据量大约为546 MB，共享方式为完全共享。
提供机构：
上海微系统与信息技术研究所
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于高速、低功耗相变材料，提供了在12寸PVD机台制备的薄膜的均匀性、热稳定性等特性数据，以及相关工艺开发和芯片性能测试结果。数据包含.txt、.csv等多种文件格式，总量约546 MB，并以完全共享方式开放。
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