微透镜阵列超硬模具组合加工技术

开发了集车削、磨削、抛光、飞秒激光与在位检测于一体纳米级非球面复合加工装备，基于该装备开发了微透镜阵列超硬模具微磨削、微车削、微抛光及飞秒激光组合加工技术。在组合加工工艺技术中，采用6061微晶铝单点金刚石车削加工口径φ40mm的非球面，车削后的面型精度PV为220nm。在飞秒激光、磨削、抛光工艺技术中，以加工口径φ7.54mm的非球面为例，首先采用激光加工将WC模具加工成粗胚，在经磨削、抛光后获得面型精度PV 0.46um，表面粗糙度Ra：10.2nm。数据量为18.3MB。