WM-300K+ wafer map [Single & Mixed]

Wafer Maps Dataset for Single and Mixed defects patterns面向单一与混合缺陷图案的晶圆图（Wafer Maps）数据集

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集是一个包含427,539个晶圆图的清洗平衡数据集，用于单种和混合缺陷模式的分类任务。输入为56x56的RGB图像张量，输出为36种缺陷类别的独热编码，涵盖包括中心、环形、边缘等多种缺陷类型。