零差一维光栅位移测量装置

一种拼接光栅位移测量系统，包括双频激光器、光纤耦合输出模块、光纤耦合接收模块和信号处理系统，其特征在于，还包括读数头，所述双频激光器发出固定频差的测量光和参考光，所述测量光与所述参考光分别通过所述光纤耦合输出模块进入所述读数头，所述测量光经所述读数头入射到移动的拼接光栅发生衍射后返回所述读数头，并透过所述读数头进入所述光纤耦合接收模块，所述参考光在所述读数头内折转后进入所述光纤耦合接收模块，并与所述测量光发生干涉形成干涉信号，所述光纤耦合接收模块将所述干涉信号上传至信号处理系统进行处理，获得所述拼接光栅的位移量。