空间频率复用超全息及超纳米印刷数据集

使用CST仿真软件仿真的，以及使用电子束曝光、电子束蒸发等微纳加工工艺制备空间频率复用超表面器件，通过电子显微镜等光学表征设备测量空间频率复用超表面在元全息和元纳米印刷技术的数据，数据量约17.5 MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集包含通过仿真和微纳加工技术制备的空间频率复用超表面器件数据，涉及元全息和元纳米印刷技术。数据来源于CST软件仿真及电子束曝光等工艺，并通过电子显微镜等设备进行光学表征，总数据量约为17.5 MB。