基于压电陶瓷高动态振动微动补偿模型

本数据集根据定位平台的运动学特性，消去部件间内力，建立各功能部件的力平衡方程，建立X、Y、Z三个方向宏/微平台混合高动态振动补偿模型。本设计中，微动误差补偿平台采用压电陶瓷作为微位移驱动器，为减小微动平台尺寸，以及能够使工作台快速回复，在微动平台中加入了椭圆形机构。在工作台与椭圆形机构之间采用平板柔性铰链进行连接，通过控制其尺寸使微动平台在X、Y方向的位移耦合最小，更好的达到误差补偿，提高定位精度的要求。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

本数据集依据定位平台运动学特性，建立了X、Y、Z三个方向的宏/微平台混合高动态振动补偿模型。其中，微动平台以压电陶瓷作为微位移驱动器，并引入椭圆形机构与平板柔性铰链，有效减小了X、Y方向位移耦合，从而提升误差补偿精度和定位性能。