基于压电陶瓷高动态振动微动补偿模型

本数据集根据定位平台的运动学特性，消去部件间内力，建立各功能部件的力平衡方程，建立X、Y、Z三个方向宏/微平台混合高动态振动补偿模型。本设计中，微动误差补偿平台采用压电陶瓷作为微位移驱动器，为减小微动平台尺寸，以及能够使工作台快速回复，在微动平台中加入了椭圆形机构。在工作台与椭圆形机构之间采用平板柔性铰链进行连接，通过控制其尺寸使微动平台在X、Y方向的位移耦合最小，更好的达到误差补偿，提高定位精度的要求。