微腔品质因数与波导损耗数据集

本数据集主要为国家重点研发计划超高品质因子光子集成芯片（2021YFB2801200）有关耦合微腔品质因数与波导损耗的数据。 本数据集基于实验室工艺加工的氮化硅芯片。微腔品质因数与波导损耗的测试记录低损耗波导加工结果、微腔品质因数以及波导损耗测试结果。数据集主要是面向超高品质因子微腔建设。数据量约540MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集隶属于国家重点研发计划'超高品质因子光子集成芯片'项目，聚焦于耦合微腔品质因数与波导损耗的测试数据，基于实验室工艺加工的氮化硅芯片。其核心目标是支持超高品质因子微腔的建设，数据总量约为540MB。