微腔品质因数与波导损耗数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=683de78d195d261233189229&type=1
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资源简介：
本数据集主要为国家重点研发计划超高品质因子光子集成芯片（2021YFB2801200）有关耦合微腔品质因数与波导损耗的数据。
本数据集基于实验室工艺加工的氮化硅芯片。微腔品质因数与波导损耗的测试记录低损耗波导加工结果、微腔品质因数以及波导损耗测试结果。数据集主要是面向超高品质因子微腔建设。数据量约540MB。
提供机构：
北京大学
