基于电流体喷印的谐波减速器微尺度型面图案化结构原位制造方法及工艺数据

本数据集是基于课题一“薄膜应变传感器在减速器上的原位集成工艺、设计制造及可靠性技术”研究内容所产生的基于电流体喷印的谐波减速器微尺度型面图案化结构原位制造方法及工艺数据，对应指标1.3线宽@曲率半径62.5 μm基底。本数据涵盖从绝缘膜层沉积到敏感层制造的多阶段实验过程，包括不同喷印方式（电喷雾、电纺直写、电点喷）的参数规律、不同材料体系（PI、光刻胶AZ4620、纳米银、CuNi合金）的成形特征，以及对应的显微形貌与尺寸测量结果。该批数据采集与测试均在福建省厦门市翔安区厦门大学翔安校区完成，采集周期涵盖2023年至2024年多个时间段。测试与表征设备包括电流体动力喷印设备（自主搭建）、台阶膜厚仪（DektakXT-A）及场发射扫描电子显微镜（SUPRA55 SAPPHIRE）等，能够满足微米尺度下结构参数精确测量与成形过程可视化的需求。