可集成可调谐激光器数据集

本数据集汇集了半导体可集成可调谐激光器的结构设计、工艺制备以及测试分析过程中所产生的相关数据。主要包括可集成可调谐激光器在设计与制备过程中的结构设计、侧壁表征和微观形貌，调谐性能测试等数据。数据集中包含多类数据，其中共聚焦显微镜测试数据的尺度是在微米量级，激射波长和边模抑制比随DBR区电流变化的测试数据中电流增长步长为1mA，激光器光谱随DBR区电流变化的步长为5mA，调谐相区电流的步长为5mA。