原子力显微探测系统中对高分辨微弱电信号检测应用测量系统及数据集

音叉式AFM主要面向半导体集成电路，超精密加工制造和纳米材料等领域的表面形貌和微结构扫描成像、物理和化学性能分析等研究的需要建设，基于量子电压作为激励源对音叉式AFM前置放大器幅频信号检测，主要记录了量子电压经过前置放大器后的幅频特性和音叉式AFM信号经过前置放大器后的幅频特性，得到了量子电压标校的后音叉式AFM前置放大器的幅频特性曲线。基于量子电压作为标准信号源对音叉式AFM自激励自感应回路的正弦信号失真度的探测，记录了量子电压合成的多音信号频谱经过AFM自激振荡和自感应反馈控制回路的出输出信号幅频特性、量子电压合成的单音信号频谱经过AFM自激振荡和自感应反馈控制回路的输出信号幅频特性；最后得到自激振荡电路和自感应反馈控制回路的无杂散动态范围（SFDR）为-65 dBc，数据量109.4MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集针对原子力显微探测系统（音叉式AFM）中的高分辨微弱电信号检测应用，以量子电压作为标准激励源，测量了前置放大器的幅频特性以及自激振荡回路的正弦信号失真度，并记录了相关幅频特性曲线和数据。数据量约为109.4MB，涉及微电子学、信号检测等学科领域。