触控矩阵的制备方法及测试结果分析数据集

开展了柔性基底的触控矩阵阵列的集成设计与研究,分析了氧化锌纳米线（ZnO nanowires）与金属氧化物薄膜晶体管集成后对晶体管特性的调控机理; 设计了多组氧化锌纳米线与高功函数金属形成的肖特基势垒串联的方案，达到了传感阵列中像素点的电流与外围读取电路读取范围相匹配的要求，实现了输出电流在100nA-1μA范围可调的传感单元。研制了传感像素间距小于140μm，像素密度大于140 PPI的大尺寸高空间分辨的柔性传感阵列，制备了能够实现6点触控的触感传感矩阵。