传感器制备工艺
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
针对微纳传感器制备工艺产生相关数据。数据采集地点为国家纳米科学中心纳米加工实验室，采集时间为2021年1月至2022年6月，所使用的仪器设备为微纳加工设备及表征设备，形成批量制备高性能传感器的稳定工艺、技术和能力。数据量为1GB。
提供机构：
国家纳米科学中心
