单晶金刚石异质外延形核研究数据集

本数据集主要针对异质衬底进行偏压形核处理，数据集详细地记录了不同BEN工艺处理下的微观形貌数据、形核前后的Ir膜成分分析数据及异质外延形核机理分析数据，得到了偏压形核过程以及最佳偏压形核窗口，为大面积高质量外延生长单晶金刚石提供可靠的数据基础，具有重要的学术和应用价值。