高精度加速度传感器研制与测试数据集

该数据集主要面向火箭用高精度加速度传感器敏感芯片结构设计仿真研究、传感器关键工艺数据及工艺效果有研究，传感器装配后电路测试及整机性能研究。数据主要采集方法包括：在航天长征火箭技术有限公司对高精度加速度敏感芯片设计仿真产生的数据集，用于指导传感器敏感芯片理论分析、结构仿真分析、尺寸设计；对高精度加速度传感器关键工艺产生的数据集，用于记录、指导传感器敏感芯片薄膜制备、刻蚀及储能封焊关键工艺，优化工艺参数。在航天长征火箭技术有限公司产生的电路与封装数据集，通过对加速度传感器产品整机测试，用于评估电路设计参数，对整机设计方案和工艺进行验证评估；于北京航天计量测试技术研究所、北京长城计量测试技术研究所、北京航天控制仪器研究所、北京强度环境研究所和中国计量科学研究院对本项目考核指标进行第三方权威测试。主要使用的设备包括：磁控溅射镀膜系统、精密离心机、冲击响应谱试验台、绝对法低频振动标准装置。数据集内容包括：通过调研与仿真分析，获取最优的敏感芯片尺寸。在现有工艺基础上，开展敏感芯片制备工艺研究，确定薄膜制备、刻蚀、键合、封焊关键工艺参数，根据刻蚀工艺迭代优化版图补偿设计，根据测试性能调整优化封焊参数。通过研究谐振器驱动电路形式、驱动电压幅值、相位控制等对谐振器输出频率量值、稳定性的影响、对比分析，建立影响关系曲线，获得优化的谐振驱动电路参数；对比分析单独元件、差分元件对非线性和温度漂移的影响，研究共模误差抑制的优化模型，提升传感器整机的非线性，降低长期温度漂移误差。传感器整机性能标校，研究传感器精度和带宽的标校测试方法，综合非线性、迟滞和重复性误差对精度进行评估，利用绝对校准法中的振幅测量法对带宽进行标校。数据量33.80MB。