Vortex bifocusing of extreme ultraviolet using modified Fermat-spiral photon-sieve splitter

Name: Vortex bifocusing of extreme ultraviolet using modified Fermat-spiral photon-sieve splitter
Creator: Junyong Zhang
Published: 2024-08-20T00:00:00+08:00

科学数据银行2024-08-26 更新2026-04-23 收录

极紫外光刻

涡旋光束整形

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Data of vortex bifocusing of extreme ultraviolet using modified Fermat-spiral photon-sieve splitter

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Junyong Zhang

创建时间：

2024-08-20

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