衍射光波导耦入光栅形貌检测数据

三角形耦入光栅主要面向衍射光波导，用于提高其色彩均匀性。该三角形光栅通过全息曝光、显影和离子束刻蚀产生，特别是通过二次倾斜离子束刻蚀，可以做到双底角可控。本数据集记录了所制作的三角形光栅的扫描电镜图片，和基于电镜图片的三角形底角测量结果。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于衍射光波导中三角形耦入光栅的形貌检测，旨在提升色彩均匀性。光栅通过全息曝光、显影和二次倾斜离子束刻蚀工艺制备，实现双底角可控。数据内容包括三角形光栅的扫描电镜图片及底角测量结果。