薄膜铌酸锂波导加工精度原始数据

薄膜铌酸锂器件是光电子集成关键组件，面向光通信等应用需求。其加工基于半导体微纳工艺，涵盖薄膜制备、光刻、刻蚀等流程。加工良率受薄膜质量、光刻精度、刻蚀均匀性等因素影响。如光栅耦合器等多种器件对可实现的最小波导的宽度有着较高的要求，因而薄膜铌酸锂微纳工艺可实现的加工精度直接影响着器件性能的上限。