全视场外差短相干形貌测量技术

针对工业检测中对微米量级测量精度、秒级测量时间的检测需求，提出了全视场外差短相干形貌测量方案。本 方案采用短相干光源，实现大步长测量，节约扫描时间；采用全视场外差技术，实现干涉轮廓的快速反演，在抑制振动、直流噪声对测量精度影响的同时，提高数据反演的效率。搭建了实验验证系统，对测量时间和测量精度进行了实验验证，结果表明，系统的探测时长小于１０ｓ，测量精度优于２μｍ。后续经进一步优化设计，探测时间可小于５ｓ，探测精度优于微米量级。该方案具有测量速度较快和测量精度较高等优势，在对效率要求较高的工业检测领域具有一定的应用前景。