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超分辨并行光学头多维力矩器测试数据集

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该数据集为测试超分辨并行光学头多维力矩器产生的数据,数据由拥有CNAS等资质的第三方测试、核算。包括搭多维力矩器测量系统、聚焦灵敏度、循迹灵敏度测量。测试方法和过程均按照测试大纲执行。

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