106.4nm一维硅纳米栅格测试数据集

一维硅纳米栅格国家标准物质数据集是对由同济大学，上海应用物理研究所，中国计量科学研究院共同研制的一维纳米硅光栅的长度计量定值的数据，该数据集的完成受到了重点项目“纳米产业技术标准的共性关键科学问题研究”的支持，项目编号为2016YFA0200900。该数据集主要包含106.4nm一维硅纳米栅格国家标准物质节距值的均匀性测试数据，1年期稳定性数据，计量定值数据。