8英寸GAA SRAM原型电路集成研制数据集

本论文提出了一个GAA SRAM原型电路的数据集，根据研究内容划分为三个子数据集：1、基于中国科学院微电子研究所集成电路先导中心的200 mm CMOS工艺线平台，制备基于全DUV光刻的GAA SRAM原型电路的关键工艺流程和集成工艺；2、介绍了GAA SRAM实验数据采集以及数据处理所采用程序和实验数据分析方法；3、对GAA SRAM原型电路关键尺寸的SEM表征分析。数据集的潜在应用价值主要是在GAA器件集成工艺及其单元电路验证方面为研究者提供可靠的技术方案和数据支撑。