全视场外差移相双波长干涉面形检测技术

双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾，是一种极具潜力的检测技术，用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题，使用全视场外差移相技术，低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合，相较于传统的压电位移机械移相技术，可以同时保证不同波长的移相精度，简化移相的复杂度，且可以方便实现多步移相。提出了全视场外差移相双波长干涉测量技术，并搭建了全视场外差移相双波长干涉测量系统，测试了在边缘最高偏离顶点球 13 μm 的非球面以及高度为 (1.3±0.1) μm 的台阶，经过实验验证其非球面面形 PV 测试精度为 λ/3.53 (λ=633 nm)，面形PV 测试重复精度为 λ/77.38，面形 RMS 测试精度为 λ/14.16，面形 RMS 测试重复精度为 λ/919.10，台阶高度测试精度为 λ/16.19，测试重复精度为 λ/311.85。